Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову polishing
Оптимизация технологии механической обработки поверхности подложек карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург В. Н. Вьюгинов - к. т. н., директор, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: mail@svetlana-ep.ru Н. К. Травин - вед. инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: travin@svetlana-ep.ru
Разработка технологии финишной подготовки поверхности подложек карбида кремния epi-ready для эпитаксии
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Оптимизация технологии механической обработки поверхности подложек карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург В. Н. Вьюгинов - к. ф.-м. н., директор, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: mail@svetlana-ep.ru Н. К. Травин - вед. инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: travin@svetlana-ep.ru
Разработка технологии финишной подготовки поверхности подложек карбида кремния epi-ready для эпитаксии
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Моделирование процесса полирования токонесущих поверхностей секционно-изогнутых волноводов
В.В. Зверинцев - аспирант, Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева (г. Красноярск). E-mail: hopmxod007@mail.ru Л.В. Зверинцева - к.т.н., доцент, Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева (г. Красноярск). E-mail: zverintsevalv@mail.ru Г.В. Кочкина - ст. преподаватель, Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева (г. Красноярск). E-mail: kochkina@gmail.com
Исследование кинематики нового станка для двухстороннего полирования оптических плоскопараллельных пластин

Г.Р. Сагателян1, Е.Р. Пискунова2, Н.Н. Дубовик3, А.С. Кузнецов4

1–4 ФГБОУ ВО «Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана 

(национальный исследовательский университет) (Москва, Россия)