Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову inductively coupled plasma
Содержание токсичных химических элементов в организме сотрудников Государственной противопожарной службы
И.И. Шантырь - д.м.н., профессор, гл. науч. сотрудник, зав. отделом биоиндикации, ФГУЗ ВЦЭРМ им. А.М. Никифорова МЧС РФ. (г. Санкт-Петербург). E-mail: shantyr@arcerm.spb.ru М.А. Власенко - аспирант, ФГУЗ ВЦЭРМ им. А.М. Никифорова МЧС РФ. E-mail: vlasenkomaria@gmail.com М.В. Яковлева - к.б.н., ст. науч. сотрудник, зав. НИЛ элементного анализа, ФГУЗ ВЦЭРМ им. А.М. Никифорова МЧС РФ. E-mail: iakorobok@mail.ru И.Э. Ушал - науч. сотрудник, НИЛ элементного анализа, ФГУЗ ВЦЭРМ им. А.М.Никифорова МЧС РФ. E-mail: innaushal@mail.ru Е.М. Харламычев - аспирант, ФГУЗ ВЦЭРМ им. А.М.Никифорова МЧС РФ. E-mail: vlasenkomaria@gmail.com
Влияние технологических параметров на свойства наноразмерных пленок нитрида кремния, осажденных в индуктивно-связанной плазме
А.Е. Ануров - аспирант, Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет). Е-mail: anurov_aleksey@mail.ru. А.А. Данилов - инженер-исследователь, ОАО «Российские космические системы» (Москва) А.А. Жуков - д.т.н., профессор, зам. начальника центра по науке, ОАО «Российские космические системы» (Москва). Е-mail: contact@rniikp.ru
Плазмохимическое травление кварцевого стекла гексафторидом серы

Г.Р. Сагателян1, К.Н. Бугорков2, А.Б. Соломашенко3, А.С. Кузнецов4

1–4 МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) (Москва, Россия)