Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову beam-plasma discharge
Оптимизация режима травления монокристаллов естественного графита в плазмохимическом реакторе на базе пучково-плазменного разряда для получения графена
В.В. Песков - аспирант, ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН Е-mail: vadim_T21@mail.ru Ю.И. Латышев - д.ф.-м.н., зав. лабораторией, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН Е.Г. Шустин - д.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, ФИРЭ им. В.А.Котельникова РАН
Изучение характеристик алмазоподобных пленок, полученных в плазмохимическом реакторе на базе пучково-плазменного разряда
И.Л. Клыков - вед. инженер ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН Е-mail: i.k-2005@mail.ru А.А. Хомич - ст. инженер ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН Е.Г. Шустин - д.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, ФИРЭ им.В.А. Котельникова РАН