350 руб
Журнал «Нелинейный мир» №1 за 2011 г.
Статья в номере:
Изучение характеристик алмазоподобных пленок, полученных в плазмохимическом реакторе на базе пучково-плазменного разряда
Ключевые слова:
молодые ученые
конкурс работ
ИРЭ РАН
плазменные технологии
пучково-плазменный разряд
алмазоподобные пленки
плазмохимический реактор
Авторы:
И.Л. Клыков - вед. инженер ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
Е-mail: i.k-2005@mail.ru
А.А. Хомич - ст. инженер ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
Е.Г. Шустин - д.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, ФИРЭ им.В.А. Котельникова РАН
Аннотация:
Оптимизированы режимы работы плазмохимического реактора с использованием специального модулятора; получен набор образцов при разных условиях осаждения; изучены характеристики алмазоподобных пленок осажденных на различные подложки; получены Рамановские спектры пленок.
Страницы: 7-8
Список источников
- Исаев Н.В., Клыков И.Л., Песков В.В., Шустин Е.Г. Пучково-плазменный реактор в режиме осаждения алмазоподобных пленок // XXXVII Междунар. (Звенигородская) конф. по физике плазмы и УТС. 2010