Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову ВЧ-плазма
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ВАКУУМНЫХ ФТОРПОЛИМЕРНЫХ ПЛЕНОК В ВЧ-ПЛАЗМЕ И ИХ СТРУКТУРНЫЕ И ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
П. А. Лучников - зав. лабораторией Московского государственного института радиотехники, электроники и автоматики (технического университета) (МИРЭА). E-mail: fisika @ mail.ru В. М. Березин - д.т.н., проф. Московского государственного института радиотехники, электроники и автоматики (технического университета) (МИРЭА). E-mail: fisika @ mail.ru А. А. Рогачев - к.т.н., с. н. с. Гомельского государственного университета им. Ф. Скорины (г. Гомель, республика Беларусь). А. С. Вишневский - аспирант Московского государственного института электроники и автоматики (технического университета) (МИРЭА). А. П. Лучников - с. н. с. Московского государственного института радиотехники, электроники и автоматики (технического университета) (МИРЭА). E-mail: fisika @ mail.ru, conf@mirea.ru
Зависимость электропроводности структур a-Si:H/c-Si от предварительной плазменной обработки монокристаллического кремния
Д.В. Нефедов - к.т.н., науч. сотрудник, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. Е-mail: nefedov_dv@rambler.ru С.Ю. Суздальцев - к.т.н., ст. науч. сотрудник, Саратовский филиал ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН
Формирование кремний-углеродных доменов на кристаллах кремния (100)
В.Я. Шаныгин - ст. инженер, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов). E-mail: vitairerun@mail.ru Р.К. Яфаров - д.т.н., зав. лабораторией, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов) С.Ю. Суздальцев - к.т.н., ст. науч. сотрудник, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов) Д.В. Нефедов - к.т.н., науч. сотрудник, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов)
Создание планарно-торцевых автоэмиссионных структур на кремнии и исследование их характеристик
Д.В. Нефедов - к.т.н., науч. сотрудник, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН E-mail: nefedov_dv@rambler.ru С.Ю. Суздальцев - к.т.н., ст. науч. сотрудник, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН В.Я. Шаныгин - ст. инженер, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН Р.К. Яфаров - д.т.н., зав. лабораторией, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН