350 руб
Журнал «Наукоемкие технологии» №11 за 2009 г.
Статья в номере:
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ВАКУУМНЫХ ФТОРПОЛИМЕРНЫХ ПЛЕНОК В ВЧ-ПЛАЗМЕ И ИХ СТРУКТУРНЫЕ И ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
Авторы:
П. А. Лучников - зав. лабораторией Московского государственного института радиотехники, электроники и автоматики (технического университета) (МИРЭА). E-mail: fisika @ mail.ru В. М. Березин - д.т.н., проф. Московского государственного института радиотехники, электроники и автоматики (технического университета) (МИРЭА). E-mail: fisika @ mail.ru А. А. Рогачев - к.т.н., с. н. с. Гомельского государственного университета им. Ф. Скорины (г. Гомель, республика Беларусь). А. С. Вишневский - аспирант Московского государственного института электроники и автоматики (технического университета) (МИРЭА). А. П. Лучников - с. н. с. Московского государственного института радиотехники, электроники и автоматики (технического университета) (МИРЭА). E-mail: fisika @ mail.ru, conf@mirea.ru
Аннотация:
Исследованы процессы воздействия электронной компоненты ВЧ - плазмы на молекулярную структуру и электрические свойства получаемых вакуумных фторполимерных пленок в процессе их роста из активной газовой фазы. Приведены результаты исследований электретных свойств фторполимерных пленок в плазме ВЧ - разряда при воздействии внешнем электрического поля.
Страницы: 30-36
Список источников
  1. Красовский А. М., Толстопятов Е. М. Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме. - Минск: Наука и техника, 1989. - 181 с.
  2. Лучников А. П., Лучников П. А., Сигов А. С. Тепловой режим структурообразования фторполимерных пленок из газовой фазы // Полиматериалы-2001: Мат. Междунар. НТК «Межфазная релаксация в полиматериалах». 26 - 30 ноября 2001 г. Москва. М.: МИРЭА. 2001. С. 119 - 122.
  3. Вишневский А. С., Ивашов Е. Н., Лучников П. А. Алгоритмы выбора слоистых композиционных структур магнитных носителей информации // Конструкции из композиционных материалов. 2008. Вып. 2. C. 32-39.
  4. Лучников А. П., Лучников П. А., Рогачев А. В. Особенности строения и свойств вакуумных пленок ПТФЭ, осажденных из активной газовой фазы // INTERMATIC-2003: Мат. Междунар. НПК. 9 - 12 июня 2003 г. Москва. М.: МИРЭА. 2003. С. 59 - 61.
  5. Лучников П. А., Марин В. П., Лучников А. П. Влияние технологических факторов на микрорельеф поверхности фторполимерных пленок в процессе их роста из активной газовой фазы// Наукоемкие технологии. 2008. № 10.С. 88 - 92.