К.В. Попова – студент, кафедра ЭИУ4, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана

E-mail: krispo1994@yandex.ru

С.А. Адарчин – к.т.н., доцент, кафедра ЭИУ4, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана

E-mail: adarchin@rambler.ru

В.Г. Косушкин – зав. кафедрой ЭИУ4, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана

E-mail: kosushkin@gmail.com

Е.Г. Пёрышкин – зам. гл. технолога, АО «ВОСХОД»-КРЛЗ E-mail: pesha1953@gmail.com

Рассмотрены вопросы влияния технологических режимов на функциональные свойства изделий. Сделан статистический анализ полученного брака, выявлены основные причины его возникновения. На основе полученных результатов проведена корректировка режимов процесса.

1. Попова К.В., Адарчин С.А., Косушкин В.Г. Повышение надежности технологической операции формирования базы транзисторов операционных усилителей // Материалы Всерос. научно-технич. конф. «Наукоемкие технологии в приборо- и машиностроении и развитие инновационной деятельности в вузе». Москва. 15−17 ноября 2016. Т. 2. С. 226−229.
2. Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: Учеб. пособие. Изд. 3-е. М.: Высшая школа. 1986. 368 с.
3. Щука А.А. Электроника: Учеб. пособие. СПб.: БХВ-Петербург. 2005. 800 с.
4. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств: Справочник. М.: Радио и связь. 1991. 528 с.
5. Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров: Учебник для вузов. Изд. 2-е, перераб. и доп. М.: Радио и связь. 1987. 464 с.
6. Парфенов О.Д. Технология микросхем: Учеб. пособие. М.: Высшая школа. 1977. 256 с.