ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ВАКУУМНЫХ ФТОРПОЛИМЕРНЫХ ПЛЕНОК В ВЧ-ПЛАЗМЕ И ИХ СТРУКТУРНЫЕ И ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА

П. А. Лучников; В. М. Березин; А. А. Рогачев; А. С. Вишневский; А. П. Лучников

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ВАКУУМНЫХ ФТОРПОЛИМЕРНЫХ ПЛЕНОК В ВЧ-ПЛАЗМЕ И ИХ СТРУКТУРНЫЕ И ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА

П. А. Лучников¹, В. М. Березин², А. А. Рогачев³, А. С. Вишневский⁴, А. П. Лучников⁵

научная статья Страницы: 30-36

¹ зав. лабораторией Московского государственного института радиотехники, электроники и автоматики (технического университета) (МИРЭА). E-mail: fisika @ mail.ru
² д.т.н., проф. Московского государственного института радиотехники, электроники и автоматики (технического университета) (МИРЭА). E-mail: fisika @ mail.ru
³ к.т.н., с. н. с. Гомельского государственного университета им. Ф. Скорины (г. Гомель, республика Беларусь)
⁴ аспирант Московского государственного института электроники и автоматики (технического университета) (МИРЭА)
⁵ с. н. с. Московского государственного института радиотехники, электроники и автоматики (технического университета) (МИРЭА). E-mail: fisika @ mail.ru

Ключевые слова: ВЧ-плазма политетрафторэтилен фторполимерная пленка радиационный дефект спин-радикал время релаксации заряд электрет рекомбинация стабильность заряда полимерный слой

Аннотация

Исследованы процессы воздействия электронной компоненты ВЧ - плазмы на молекулярную структуру и электрические свойства получаемых вакуумных фторполимерных пленок в процессе их роста из активной газовой фазы. Приведены результаты исследований электретных свойств фторполимерных пленок в плазме ВЧ - разряда при воздействии внешнем электрического поля.

Для цитирования

Лучников П.А., Березин В.М., Рогачев А.А., Вишневский А.С., Лучников А.П. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ВАКУУМНЫХ ФТОРПОЛИМЕРНЫХ ПЛЕНОК В ВЧ-ПЛАЗМЕ И ИХ СТРУКТУРНЫЕ И ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА // Наукоемкие технологии. 2009. № 11. С. 30–36.

Список источников

Красовский А. М., Толстопятов Е. М. Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме. - Минск: Наука и техника, 1989. - 181 с.
Лучников А. П., Лучников П. А., Сигов А. С. Тепловой режим структурообразования фторполимерных пленок из газовой фазы // Полиматериалы-2001: Мат. Междунар. НТК «Межфазная релаксация в полиматериалах». 26 - 30 ноября 2001 г. Москва. М.: МИРЭА. 2001. С. 119 - 122.
Вишневский А. С., Ивашов Е. Н., Лучников П. А. Алгоритмы выбора слоистых композиционных структур магнитных носителей информации // Конструкции из композиционных материалов. 2008. Вып. 2. C. 32-39.
Лучников А. П., Лучников П. А., Рогачев А. В. Особенности строения и свойств вакуумных пленок ПТФЭ, осажденных из активной газовой фазы // INTERMATIC-2003: Мат. Междунар. НПК. 9 - 12 июня 2003 г. Москва. М.: МИРЭА. 2003. С. 59 - 61.
Лучников П. А., Марин В. П., Лучников А. П. Влияние технологических факторов на микрорельеф поверхности фторполимерных пленок в процессе их роста из активной газовой фазы// Наукоемкие технологии. 2008. № 10.С. 88 - 92.

[1] Красовский А. М., Толстопятов Е. М. Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме. - Минск: Наука и техника, 1989. - 181 с.

[2] Лучников А. П., Лучников П. А., Сигов А. С. Тепловой режим структурообразования фторполимерных пленок из газовой фазы // Полиматериалы-2001: Мат. Междунар. НТК «Межфазная релаксация в полиматериалах». 26 - 30 ноября 2001 г. Москва. М.: МИРЭА. 2001. С. 119 - 122.

[3] Вишневский А. С., Ивашов Е. Н., Лучников П. А. Алгоритмы выбора слоистых композиционных структур магнитных носителей информации // Конструкции из композиционных материалов. 2008. Вып. 2. C. 32-39.

[4] Лучников А. П., Лучников П. А., Рогачев А. В. Особенности строения и свойств вакуумных пленок ПТФЭ, осажденных из активной газовой фазы // INTERMATIC-2003: Мат. Междунар. НПК. 9 - 12 июня 2003 г. Москва. М.: МИРЭА. 2003. С. 59 - 61.

[5] Лучников П. А., Марин В. П., Лучников А. П. Влияние технологических факторов на микрорельеф поверхности фторполимерных пленок в процессе их роста из активной газовой фазы// Наукоемкие технологии. 2008. № 10.С. 88 - 92.

Аннотация

Для цитирования

Похожие статьи