В. М. Березин

A. A. Rogachev

1 статья 2009

Наукоемкие технологии 1

2009

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ВАКУУМНЫХ ФТОРПОЛИМЕРНЫХ ПЛЕНОК В ВЧ-ПЛАЗМЕ И ИХ СТРУКТУРНЫЕ И ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА Наукоемкие технологии, №11 за 2009 г. С. 30-36