Технологические принципы получения электретных гибридных сандвич-структур

Лучников П. А.; Марин В. П.; Лучников А.П.

Технологические принципы получения электретных гибридных сандвич-структур

Лучников П. А.¹, Марин В. П.², Лучников А.П.³

научная статья

Аннотация

Рассмотрены основные технологические принципы создания высокостабильного пленочного электретного элемента гибридной сандвич-структуры на основе пленок оксида кремния на кремнии с защитным слоем фторполимерного диэлектрика, выполненного технологическими методами полупроводниковой электроники при осаждении защитного фторполимерного слоя из активной газовой фазы.

Для цитирования

Лучников П.А., Марин В.П., Лучников А.П. Технологические принципы получения электретных гибридных сандвич-структур // Наукоемкие технологии. 2006. № 7-8.