Технологические принципы получения электретных гибридных сандвич-структур
Abstract
Рассмотрены основные технологические принципы создания высокостабильного пленочного электретного элемента гибридной сандвич-структуры на основе пленок оксида кремния на кремнии с защитным слоем фторполимерного диэлектрика, выполненного технологическими методами полупроводниковой электроники при осаждении защитного фторполимерного слоя из активной газовой фазы.
How to cite
Лучников П.А., Марин В.П., Лучников А.П. Технологические принципы получения электретных гибридных сандвич-структур // Наукоемкие технологии. 2006. № 7-8.