Тонкопленочные технологии в сверхвысокочастотных и квантовых приборах

Реутов А. П.; Марин В. П.; Никифоров Д. К.; Пчелинцева Н. И.; Чистяков Г. А.

Тонкопленочные технологии в сверхвысокочастотных и квантовых приборах

Реутов А. П.¹, Марин В. П.², Никифоров Д. К.³, Пчелинцева Н. И.⁴, Чистяков Г. А.⁵

научная статья

Аннотация

Приведены результаты применения тонкопленочных технологий для получения элементной базы сверхвысокочастотных и квантовых приборов, обеспечивающей их надежность и долговечность в системах радиолокации и диагностики.

Для цитирования

Реутов А.П., Марин В.П., Никифоров Д.К., Пчелинцева Н.И., Чистяков Г.А. Тонкопленочные технологии в сверхвысокочастотных и квантовых приборах // Наукоемкие технологии. 2006. № 7-8.