Исследование влияния СВЧ плазменной микрообработки на аноструктурирование углерода на кристаллах кремния (100)
- 1 ст. инженер, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
- 2 д.т.н., зав. лабораторией, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
Аннотация
Установлено, что после плазменной микрообработки в хладоне поверхностные плотности меньше, чем после обработки в аргоне, причем они увеличиваются с ростом температуры для хладона и уменьшается для аргона. Показано, что такой характер зависимостей свидетельствует о наличии прекурсорной хемосорбции и обусловлен различной энергетикой адсорбции углерода на пластинах кремния, прошедших предварительную микрообработку в различных химически активных средах.
Для цитирования
Шаныгин В.Я., Яфаров Р.К. Исследование влияния СВЧ плазменной микрообработки на аноструктурирование углерода на кристаллах кремния (100) // Нелинейный мир. 2013. № 2. С. 124–125.
Список источников
- Оура К., Лифшиц В.Г., Саранин А.А., Зотов А.В., Катаяма М. Введение в физику поверхности. М.: Наука. 2006.
- Шаныгин В.Я., Яфаров Р.К. Получение атомарно-чистых поверхностей кремния в низкоэнергетичной СВЧ-плазме низкого давления // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 12. С. 73-78.
- Шаныгин В.Я., Яфаров Р.К. Особенности наноструктурирования субмонослойных покрытий углерода, осажденных на поверхность монокристаллов кремния в низкотемпературной плазме СВЧ разряда // ЖТФ. 2012. Т. 82. Вып. 8. С. 76-82.