Изучение характеристик алмазоподобных пленок, полученных в плазмохимическом реакторе на базе пучково-плазменного разряда

И.Л. Клыков¹, А.А. Хомич², Е.Г. Шустин³

научная статья Страницы: 7-8

¹ вед. инженер ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
² ст. инженер ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
³ д.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, ФИРЭ им.В.А. Котельникова РАН

Ключевые слова: молодые ученые конкурс работ ИРЭ РАН плазменные технологии пучково-плазменный разряд алмазоподобные пленки плазмохимический реактор

Аннотация

Оптимизированы режимы работы плазмохимического реактора с использованием специального модулятора; получен набор образцов при разных условиях осаждения; изучены характеристики алмазоподобных пленок осажденных на различные подложки; получены Рамановские спектры пленок.

Для цитирования

Клыков И.Л., Хомич А.А., Шустин Е.Г. Изучение характеристик алмазоподобных пленок, полученных в плазмохимическом реакторе на базе пучково-плазменного разряда // Нелинейный мир. 2011. № 1. С. 7–8.

Список источников

Исаев Н.В., Клыков И.Л., Песков В.В., Шустин Е.Г. Пучково-плазменный реактор в режиме осаждения алмазоподобных пленок // XXXVII Междунар. (Звенигородская) конф. по физике плазмы и УТС. 2010