Оптимизация режима травления монокристаллов естественного графита в плазмохимическом реакторе на базе пучково-плазменного разряда для получения графена
- 1 аспирант, ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН
- 2 д.ф.-м.н., зав. лабораторией, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
- 3 д.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, ФИРЭ им. В.А.Котельникова РАН
Аннотация
Показана возможность получения наноразмерных слоев графита с помощью низкоэнергетичного травления тонких монокристаллов графита; проведена оптимизация режимов травления; получены структурно совершенные образцы двухслойного графита (биграфена) с площадью более 100100 мкм2.
Для цитирования
Песков В.В., Латышев Ю.И., Шустин Е.Г. Оптимизация режима травления монокристаллов естественного графита в плазмохимическом реакторе на базе пучково-плазменного разряда для получения графена // Нелинейный мир. 2011. № 1.
Список источников
- Novoselov K.S., et. al. Electric Fild Eᤸ ect in Atomically Thin Carbon Films //Science. 2004. V. 306. P. 666.
- Nair R.R., et. al. Fine Structure Constant Defines Visual Transparency of Graphene // Science. 2008. V. 20. P. 1308.
- Kim K.S., et. al. Large-Scale pattern growth of grapheme films for stretchable transparent electrodes // Nature. 2009. V. 457. P. 706.
- Reina A., et. al. Large area, few-layer grapheme films on arbitrary substrates by chemical vapor deposition // Nano Lett. 2009. V. 9. P. 30.
- Песков В.В., Шустин Е.Г. Исследование взаимодействия плазмы с непроводящей поверхностью в пучково-плазменном разряде при слабом магнитном поле // Нелинейный мир. 2009. Т. 7. №6. С. 495.
- Латышев А.Ю., Никитов С.А. Периодические по полю осцилляции магнетосопротивления тонких монокристаллов графита с колоннообразными дефектами // Нелинейный мир. 2010. Т. 8. № 2. С. 104.