Studying of characteristics of diamond-like films produced by plasma-chemical reactor based on beam-plasma discharge
- 1 вед. инженер ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
- 2 ст. инженер ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
- 3 д.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, ФИРЭ им.В.А. Котельникова РАН
Keywords:
young scientistwork contestIRE RASplasma technologybeam-plasma dischargediamond-like filmsplasma-chemical reactor
Abstract
Optimization of operating conditions of plasma reactor using a specific modulator has been made. A set of samples at different deposition conditions has been obtained. The characteristics of diamond films deposited on various substrates
How to cite
Клыков И.Л., Хомич А.А., Шустин Е.Г. Изучение характеристик алмазоподобных пленок, полученных в плазмохимическом реакторе на базе пучково-плазменного разряда // Нелинейный мир. 2011. № 1. С. 7–8.
References
- Исаев Н.В., Клыков И.Л., Песков В.В., Шустин Е.Г. Пучково-плазменный реактор в режиме осаждения алмазоподобных пленок // XXXVII Междунар. (Звенигородская) конф. по физике плазмы и УТС. 2010