Аморфизация поверхностного слоя металлов при имплантации ионов аргона
- 1 д.ф.-м.н., профессор, Институт электрофизики Уральского Отделения РАН
Аннотация
Методом полевой ионной микроскопии изучена аморфизация в приповерхностном объеме металлов и сплавов при облучении пучками Ar+ c энергией до 30 кэВ. Установлено, что явление аморфизации металла в приповерхностном объеме происходит до 12 нм в глубину образца при увеличении флюенса до 1018 ион/см2.
Для цитирования
Ивченко В.А. Аморфизация поверхностного слоя металлов при имплантации ионов аргона // Наноматериалы и наноструктуры - XXI век. 2012. № 3. С. 3–6.
Список источников
- Гусева М.И. Ионная имплантация в неполупроводниковые материалы // Итоги науки и техники. Серия: Физические основы лазерной и пучковой технологии. М.: ВИНИТИ. Т. 5. 1989.
- Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками / под ред. Дж. Поута, Г. Фоти и Д. Джекобсона. М.: Машиностроение. 1987.
- Ивченко В.А., Сюткин Н.Н., Кузнецова Л.Ю. Эффект аморфизации в приповерхностных объемах ионно-имплантированных сплавов. // Письма в ЖТФ. 2000. Т. 26. В. 13. С. 5-10.
- Ivchenko V.A.,
Syutkin N.N., Bunkin A.Yu. FIM
investigation of ion-implanted Cu3Au alloy // J. de. Phys. 1988. V. 49-C6.
Р. 379-383.
- Southworth H.N., Ralph B. // Phil. Mag. 1970. V. 21. P. 23-41.
- Буренков А.Ф., Комаров Ф.Ф., Кумахов М.А., Темкин М.М. Пространственные распределения энергии выделенной в каскаде атомных столкновений в твердых телах. М.: Энергоатомиздат. 1985.
- Ivchenko V.A., Medvedeva E.V. Modification of Nanostructured States in Ion_Implanted Platinum // Izvestiya Rossiiskoi Akademii Nauk. Seriya Fizicheskaya. 2010. V. 74. № 2. Р. 237-240.
- Boowkett K.M., Smith D.A. Field Ion Microscopy // Defects in Crystalline Solids / Edit.: S. Amelinckx, R. Gevers, J. Nihoul. North Holand Publishing Company-Amsterdam. London. 1970. V. 2.