Amorphization of metals surfaces by argon ions implantation
- 1 д.ф.-м.н., профессор, Институт электрофизики Уральского Отделения РАН
Abstract
Amorphization in the subsurface extent of metals and alloys under irradiation with beams of Ar+ with the energy of 30 keV is studied by the field ion microscopy techniques. It is established that the metal amorphization phenomenon in the surface volume occurs up to 12 nm in the depth of the sample with increasing fluence up to 1018 ions/cm2.
How to cite
Ивченко В.А. Аморфизация поверхностного слоя металлов при имплантации ионов аргона // Наноматериалы и наноструктуры - XXI век. 2012. № 3. С. 3–6.
References
- Гусева М.И. Ионная имплантация в неполупроводниковые материалы // Итоги науки и техники. Серия: Физические основы лазерной и пучковой технологии. М.: ВИНИТИ. Т. 5. 1989.
- Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками / под ред. Дж. Поута, Г. Фоти и Д. Джекобсона. М.: Машиностроение. 1987.
- Ивченко В.А., Сюткин Н.Н., Кузнецова Л.Ю. Эффект аморфизации в приповерхностных объемах ионно-имплантированных сплавов. // Письма в ЖТФ. 2000. Т. 26. В. 13. С. 5-10.
- Ivchenko V.A.,
Syutkin N.N., Bunkin A.Yu. FIM
investigation of ion-implanted Cu3Au alloy // J. de. Phys. 1988. V. 49-C6.
Р. 379-383.
- Southworth H.N., Ralph B. // Phil. Mag. 1970. V. 21. P. 23-41.
- Буренков А.Ф., Комаров Ф.Ф., Кумахов М.А., Темкин М.М. Пространственные распределения энергии выделенной в каскаде атомных столкновений в твердых телах. М.: Энергоатомиздат. 1985.
- Ivchenko V.A., Medvedeva E.V. Modification of Nanostructured States in Ion_Implanted Platinum // Izvestiya Rossiiskoi Akademii Nauk. Seriya Fizicheskaya. 2010. V. 74. № 2. Р. 237-240.
- Boowkett K.M., Smith D.A. Field Ion Microscopy // Defects in Crystalline Solids / Edit.: S. Amelinckx, R. Gevers, J. Nihoul. North Holand Publishing Company-Amsterdam. London. 1970. V. 2.