Повышение надежности технологии формирования области базы транзисторов операционных усилителей
- 1 студент, кафедра ЭИУ4, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана
- 2 к.т.н., доцент, кафедра ЭИУ4, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана
- 3 зав. кафедрой ЭИУ4, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана
- 4 зам. гл. технолога, АО «ВОСХОД»-КРЛЗ
Аннотация
Рассмотрены вопросы влияния технологических режимов на функциональные свойства изделий. Сделан статистический анализ полученного брака, выявлены основные причины его возникновения. На основе полученных результатов проведена корректировка режимов процесса.
Для цитирования
Попова К.В., Адарчин С.А., Косушкин В.Г., Пёрышкин Е.Г. Повышение надежности технологии формирования области базы транзисторов операционных усилителей // Электромагнитные волны и электронные системы. 2017. № 5. С. 30–33.
Список источников
- Попова К.В., Адарчин С.А., Косушкин В.Г. Повышение надежности технологической операции формирования базы транзисторов операционных усилителей // Материалы Всерос. научно-технич. конф. «Наукоемкие технологии в приборо- и машиностроении и развитие инновационной деятельности в вузе». Москва. 15−17 ноября 2016. Т. 2. С. 226−229.
- Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: Учеб. пособие. Изд. 3-е. М.: Высшая школа. 1986. 368 с.
- Щука А.А. Электроника: Учеб. пособие. СПб.: БХВ-Петербург. 2005. 800 с.
- Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств: Справочник. М.: Радио и связь. 1991. 528 с.
- Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров: Учебник для вузов. Изд. 2-е, перераб. и доп. М.: Радио и связь. 1987. 464 с.
- Парфенов О.Д. Технология микросхем: Учеб. пособие. М.: Высшая школа. 1977. 256 с.