№2 за 2012 г.
Моделирование физических процессов в наноматериалах и наноструктурах
Физика наноматериалов и наноструктур
- Исследование молекулярных кластеров, сорбированных в наноразмерных порах силикатных стекол С. 8-12
- Особенности электрофизических свойств нанопористых силикатных пленок С. 13-20
Технология наноматериалов и наноструктур
- Получение пленочных покрытий на основе полимерной матрицы с наночастицами серебра путем осаждения из газовой фазы С. 21-25
- Особенности проектирования фотошаблонов для производства наноразмерных полупроводниковых СБИС С. 26-35
- Технологические особенности формирования катодных узлов автоэмиссионных и туннельных нано- и микроприборов С. 35-43
