Проектирование тонкопленочных гибридных интегральных микросхем частного применения
- 1 РТУ МИРЭА (Москва, Россия)
Аннотация
Постановка проблемы. При разработке радиоэлектронных средств (РЭС) основной сложностью является производство микросхем, которые выполняют решающую роль в функционировании печатного узла. Необходимо разработать микросхему под определенное РЭС, так как нет возможности подобрать из существующих на рынке.
Цель. Рассмотреть этапы проектирования тонкопленочных гибридных интегральных микросхем (ГИМС), отвечающих заданным электрическим и технологическим требованиям и характеристикам.
Результаты. Разработана ГИМС, содержащая прецизионные резисторы и конденсаторы, которые не представляется возможным изготовить на производстве, вследствие чего эти резисторы будут выполнены в виде подстроечной конструкции, а конденсаторы – в виде навесной конструкции. Проведен расчет геометрических размеров резисторов и конденсаторов. Детально описан алгоритм их расчета, в результате которого получены все данные для их изготовления.
Практическая значимость. Изложенные этапы проектирования ИМС являются универсальными для всех типов микросхем и позволяет разработать ИМС с нужными характеристиками и возможностью внедрения на производстве.
- Поступила
- 18.01.2021
- Одобрена
- 16.02.2021
- Принята
- 23.03.2021
Для цитирования
Дивакова Я.А. Проектирование тонкопленочных гибридных интегральных микросхем частного применения // Электромагнитные волны и электронные системы. 2021. Т. 26. № 2. С. 64−72. DOI: https://doi.org/10.18127/j15604128-202102-07
Список источников
- Бондаренко И.Б. Электрорадиоэлементы. Часть 1. Резисторы. СПб: СПб НИУ ИТМО. 2012. 108 с.
- Коваленко А.А., Петропавловский М.Д. Тонкопленочные элементы в микроэлектронике. Основы проектирования и изготовления. М.: Радиотехника. 2011.
- Дьяконов М.Н., Кабанов В.И., Присняков В.И. и др. Справочник по электрическим конденсаторам / Под общ. ред. И.И. Четверткова и В.Ф. Смирнова. М.: Радио и связь. 1983. 576 с.