Измерение удельного сопротивления четырехзондовым методом и электрического сопротивления четырехконтактным устройством
- 1 ст. науч. сотрудник, ФГУП ВНИИА им. Н.Л. Духова
- 2 к.т.н., доцент, кафедра «Телекоммуникационные системы», РТУ МИРЭА
Аннотация
Предложен метод автоматизированного измерения сопротивлений с помощью четырехконтактного устройства и измерения удельного сопротивления полупроводника с помощью четырех зондов.
Проанализирован метод, позволяющий контролировать целостность всех образуемых электрических цепей и исключать из результата измерений значения переходных и контактных сопротивлений, сопротивлений линий связи и ключей мультиплексора в образуемых электрических цепях.
Рассмотрена эквивалентная схема расположения зондов и иных контактных устройств при измерениях сопротивлений и удельного сопротивления полупроводника.
Для цитирования
Кожевников А.Ю., Егорова Е.В. Измерение удельного сопротивления четырехзондовым методом и электрического сопротивления четырехконтактным устройством // Успехи современной радиоэлектроники. 2019. № 3. С. 60–65. DOI: https://doi.org/10.18127/j20700784-201903-07
Список источников
- Шалимова К.В. Физика полупроводников. М. 1971.
- Павлов Л.П. Методы определения основных параметров полупроводниковых материалов. М. 1975.
- Патент № 2655470 РФ. Способ автоматизированного измерения сопротивлений / Кожевников А.Ю. 28.05.2018.
- Сергеев Н.П. Метрология, стандартизация и технические измерения в радиоэлектронике: Учеб. пособие. М.: МАТИ. 2008.
- HP34970А. Система сбора данных/коммутации. Руководство по эксплуатации. Кодовый номер инструкции 34970-ХХХХХ. Издано: Апрель 1998.
- Заявка на изобретение № 2018140517 от 16 ноября 2018 г. Кожевников А.Ю.