Measurement of resistivity by four-sonde method and electrical resistance by four-pin device
- 1 ст. науч. сотрудник, ФГУП ВНИИА им. Н.Л. Духова
- 2 к.т.н., доцент, кафедра «Телекоммуникационные системы», РТУ МИРЭА
Abstract
The article proposes methods for automated resistance measurement using a four-pin device and measuring the resistivity of a semiconductor using four sondes. The presented methods allow with high accuracy and increased reliability to control the values of resistance and resistivity of semiconductors, with the control of the integrity of all electrical circuits formed and the corresponding exception from the measurement results of the values of transient and contact resistances, resistances of communication lines and keys of the multiplexer in the generated electrical circuits.
How to cite
Кожевников А.Ю., Егорова Е.В. Измерение удельного сопротивления четырехзондовым методом и электрического сопротивления четырехконтактным устройством // Успехи современной радиоэлектроники. 2019. № 3. С. 60–65. DOI: https://doi.org/10.18127/j20700784-201903-07
References
- Shalimova K.V. Fizika poluprovodnikov. M. 1971.
- Pavlov L.P. Metody opredeleniya osnovnyh parametrov poluprovodnikovyh materialov. M. 1975.
- Patent RF № 2655470. Sposob avtomatizirovannogo izmereniya soprotivlenij / Kozhevnikov A.Yu. 28.05.2018.
- Sergeev N.P. Metrologiya, standartizaciya i tehnicheskie izmereniya v radioelektronike: Ucheb. posobie. M.: MATI. 2008.
- HP34970A. Sistema sbora dannyh/kommutacii. Rukovodstvo po ekspluatacii. Kodovyj nomer instrukcii 34970–ХХХХХ. Izdano: Aprel' 1998.
- Zayavka na izobretenie № 2018140517 ot 16 noyabrya 2018 g. Kozhevnikov A.Yu.