Методы контроля формы и качества поверхностей крупногабаритных высокоточных оптических элементов

Н. В. Барышников; Я. В. Гладышева; Д. Г. Денисов; И. В. Животовский

Методы контроля формы и качества поверхностей крупногабаритных высокоточных оптических элементов

Н. В. Барышников¹, Я. В. Гладышева², Д. Г. Денисов³, И. В. Животовский⁴

научная статья Страницы: 48-52

¹ д.т.н., зав. кафедрой РЛ2, МГТУ им. Н. Э. Баумана
² аспирант, инженер, МГТУ им. Н. Э. Баумана
^3,4 к.т.н., доцент, МГТУ им. Н. Э. Баумана

Ключевые слова: интерферометр метрология оптическая поверхность крупногабаритная оптика шероховатость волновой фронт спектральная плотность мощности

Аннотация

Представлен метод контроля качества крупногабаритных оптических деталей с качеством поверхности нанометрового уровня на широком пространственно-частотном диапазоне в вибрационных условиях производства. Рассмотрены основные особенности методов и схем интерференционного контроля высокоточных оптических поверхностей.

Для цитирования

Барышников Н.В., Гладышева Я.В., Денисов Д.Г., Животовский И.В. Методы контроля формы и качества поверхностей крупногабаритных высокоточных оптических элементов // Успехи современной радиоэлектроники. 2014. № 4. С. 48–52.

Список источников

Abdulkadyrov, M. A., Belousov, S. P., Alexandr N. Ignatov // Manufacturing of primary mirrors from Sitall CO-115M for European projects TTL, NOA and VST // Proc. of SPIE. 2009. V. 7390.
Абдулкадыров М. А. и др. Неравноплечий ИК-интерферометр Тваймана-Грина для контроля формы и качества поверхностей крупногабаритных оптических деталей на стадии шлифования // Оптический журнал. 2010. № 1.
Международный стандарт 10110 - 1. Оптика и оптические приборы. Правила оформления чертежей оптических элементов и систем. 1996.
Beckmann, P., Spizzichino, A., The Scattering of Electromagnetic Waves from Rough Surface. Norwood: Pergamon Press, ARTECH HOUSE. 1987.
Intellium - H2000 Overview // http://esdimetrology.com/p/fizeau/intellium_h2000.html
Барышников Н. В., Гладышева Я. В., Денисов Д. Г., Животовский И. В., Патрикеев В. Е., Судариков И. Н.Исследование интерференционных методов контроля формы и качества высокоточных поверхностей крупногабаритных оптических деталей // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. Спецвыпуск. Современныепроблемыоптотехники. 2012.
Chiayu Ai, Wyant, J. С., Absolute testing of flats by using even and odd functions. Applied optics, 1993. V. 32, 25.

[1] Abdulkadyrov, M. A., Belousov, S. P., Alexandr N. Ignatov // Manufacturing of primary mirrors from Sitall CO-115M for European projects TTL, NOA and VST // Proc. of SPIE. 2009. V. 7390.

[2] Абдулкадыров М. А. и др. Неравноплечий ИК-интерферометр Тваймана-Грина для контроля формы и качества поверхностей крупногабаритных оптических деталей на стадии шлифования // Оптический журнал. 2010. № 1.

[3] Международный стандарт 10110 - 1. Оптика и оптические приборы. Правила оформления чертежей оптических элементов и систем. 1996.

[4] Beckmann, P., Spizzichino, A., The Scattering of Electromagnetic Waves from Rough Surface. Norwood: Pergamon Press, ARTECH HOUSE. 1987.

[5] Intellium - H2000 Overview // http://esdimetrology.com/p/fizeau/intellium_h2000.html

[6] Барышников Н. В., Гладышева Я. В., Денисов Д. Г., Животовский И. В., Патрикеев В. Е., Судариков И. Н.Исследование интерференционных методов контроля формы и качества высокоточных поверхностей крупногабаритных оптических деталей // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. Спецвыпуск. Современныепроблемыоптотехники. 2012.

[7] Chiayu Ai, Wyant, J. С., Absolute testing of flats by using even and odd functions. Applied optics, 1993. V. 32, 25.

Аннотация

Для цитирования

Похожие статьи