Механизмы, определяющие разброс пороговых напряжений короткоканальных КМОП-транзисторов
Аннотация
Рассмотрены механизмы, определяющие разброс пороговых напряжений короткоканальных КМОП-транзисторов, включая транзисторы со структурой КНИ (кремний на изоляторе). Показано, что флуктуации пороговых напряжений, обусловленные технологическими факторами, оказывают значительное влияние на предельные характеристики полевых транзисторов и степень миниатюризации, что необходимо учитывать при решении прикладных задач схемотехнического проектирования.
Для цитирования
Масальский Н.В. Механизмы, определяющие разброс пороговых напряжений короткоканальных КМОП-транзисторов // Успехи современной радиоэлектроники. 2008. № 7.