А. А. Жуков

A. A. Zhukov

1 статья 2009

Информационно-измерительные и управляющие системы 1

2009

Формирование исполнительных элементов устройств микросистемной техники травлением в индуктивно-связанной плазме Информационно-измерительные и управляющие системы, №8 за 2009 г. С. 94-97