Формирование исполнительных элементов устройств микросистемной техники травлением в индуктивно-связанной плазме
- 1 инженер-исследователь ФГУП «РНИИ КП»
- 2 аспирант МАТИ
- 3 д. т. н., доцент, профессор МАИ, нач. отд. ФГУП «РНИИ КП»
Ключевые слова:
исполнительный элементмикроэлектроникамикросистемная техникамикроэлектромеханические системыповерхностная микрообработка
Аннотация
Рассмотрены особенности формирования исполнительных элементов устройств микросистемной техники методами поверхностной микрообработки травлением полиимидных «жертвенных» слоев в индуктивно-связанной плазме с управляемым профилем
Для цитирования
Ануров А.Е., Гринькин Е.А., Жуков А.А. Формирование исполнительных элементов устройств микросистемной техники травлением в индуктивно-связанной плазме // Информационно-измерительные и управляющие системы. 2009. № 8. С. 94–97.
Список источников
- Варадан В., Виной К., Джозе К. ВЧ МЭМС и их применение. М.: Техносфера. 2004.
- Берлин Е. Б., Двинин С. А., Сейдман Л. А. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок. М.: Техносфера. 2007.
- Гринькин Е. А., Жуков А. А., Жукова С. А., Чурило И. В. Микроразмерные структуры для микрофлюидных устройств космического приборостроения и информационных систем // Тр. Всероссийской научно-технической конференции «Актуальные проблемы ракетно-космического приборостроения и информационных технологий». С. 251-256.