Influence of potential of displacement at the processing microwave plasma of various gases on morphological and field emission properties of plates Si (100) p-type
- 1 к.т.н., вед. инженер, лаборатория СФ-5, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
- 2 д.т.н., зав. лабораторией СФ-5, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН
- 3 к.т.н., ст. науч. сотрудник, лаборатория СФ-5, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН
- 4 к.т.н., науч. сотрудник, лаборатория СФ-5, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН
Abstract
An ifluence of the potential of displacement on the microwave plasma processing in plasma of freon-14, argon, hydrogen and oxygen on morphological and field emission properties of plates Si (100) p-type conductivity is demonstrated.
How to cite
Шаныгин В.Я., Яфаров Р.К., Суздальцев С.Ю., Нефедов Д.В. Влияние потенциала смещения при СВЧ-обработке в плазме различных газов на морфологические и автоэмиссионные свойства пластин Si (100) p-типа // Нелинейный мир. 2017. № 2. С. 32–33.
References
- JAfarov R.K., SHanygin V.JA. Osobennosti strukturirovanija poverkhnosti kristallov kremnija (100) pri SVCH plazmennojj obrabotke v razlichnykh gazovykh sredakh // Pisma v ZHTF. 2013. T. 39. Vyp. 9. S. 1-8.