В.А. Васин - к. т. н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) (МИЭМ) Е.Н. Ивашов - д. т. н., МИЭМ С.В. Степанчиков - к. т. н., МИЭМ. E-mail: ienmiem@mail.ru, vacuumwa@list.ru, vacuumwa@ya.ru