350 руб
Журнал «Нелинейный мир» №1 за 2012 г.
Статья в номере:
Расчеты приводов и функциональных устройств современных вакуумно-технологических модульных комплексов в статическом и динамическом режимах работы
Ключевые слова: вакуумно-технологические модульные комплексы ℓ ?координатные приводы приводы управляемой упругой деформации функциональные устройства привод с незамкнутым контуром привод замкнутого контура быстродействие вакуумных клапанов
Авторы:
В.А. Васин - к. т. н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) (МИЭМ) Е.Н. Ивашов - д. т. н., МИЭМ С.В. Степанчиков - к. т. н., МИЭМ. E-mail: ienmiem@mail.ru, vacuumwa@list.ru, vacuumwa@ya.ru
Аннотация:
Рассмотрены состояние теории и методы расчета и проектирования приводов и функциональных устройств с минимальным уровнем загрязнений, привносимых на изделия электронной техники, предназначенные для работы в статических и динамических режимах в современных вакуумно-технологических модульных комплексах
Страницы: 36-49
Список источников
  1. Колискор А. Ш. Разработка и исследование промышленных роботов на основе ℓ-координат // Станки и инструмент. 1982. №12. С.21 - 24.
  2. Ивашов Е. Н., Лебедев В. А., Степанчиков С. В. и др. / Расчет и конструирование механических систем оборудования аэрокосмической и электронной техники: Учеб. пособие для вузов. Томск: МГП «РАСКО» при изд-ве «Радио и связь», 1999.
  3. Ивашов Е. Н. Устройства на основе ℓ-координат в оборудовании электронной техники: Учеб. пособие.  М.: МИЭМ, 1995.
  4. Феодосьев В. И. Упругие элементы точного приборостроения. М.:Оборонгиз, 1949.
  5. Феодосьев В. И. Об одном способе решения нелинейных задач устойчивости деформируемых систем // Прикладная математика и механика. 1963. Т. XXVII. Вып. 2. С. 265-275.
  6. Андреева Л. Е. Упругие элементы приборов. Изд. 2-е, перераб. и доп. М.: Машиностроение, 1981.
  7. Васильев Б. Н. Напряженно-деформированное состояние манометрических трубок // Известия АН СССР. Механика. 1965. № 4. С. 139 - 144.
  8. Афонин В. Г., Шумский М. П. Собственные частоты манометрических приборов с одновитковой манометрической пружиной // Известия вузов. Приборостроение. 1974. № 6. С. 79 - 82.
  9. Герасимов В. К., Тыжнов Г. И. Трубчатые пружины замкнутого контура // Приборы и системы управления. 1973. № 1. С. 44 - 47.
  10. Александрова А. Т. Новые способы передачи и формирования движения в вакууме. М.: Высшая школа, 1979.
  11. Александрова А. Т. Вакуумные роботы-манипуляторы на основе упругодеформируемых исполнительных элементов // Электронная техника. 1977. Сер. 7. Вып. 1 (80). С. 35 - 43.
  12. Александрова А. Т. Оценка работоспособности механизмов перемещения в высоком вакууме // Электронная техника. 1977. Сер. 7. Вып. 3 (82). С. 57 - 60.
  13. Александрова А. Т. Кинематический анализ однозвенных механизмов для формирования сложных перемещений в вакууме // Электронная техника. 1977. Сер. 7. Вып. 5 (84). С. 109 - 115.
  14. Александрова А. Т., Горюнов А. А., Ермаков Е. С. и др. Вакуумные манипуляторы // Электронная промышленность. 1981. Вып. 106. № 10. С. 45 - 52.
  15. Александрова А. Т. Анализ критериев работоспособности механизмов перемещения в высоком вакууме // Труды МИЭМ. 1975. С. 14 - 18.
  16. Тулегенов М. У. Определение частот и форм свободных колебаний манометрической трубки // Межвуз. сб. научных трудов. Вибротехника. Каунас: 1987. Вып. 1 (31). С. 55 - 61.
  17. Вишнякова Т. Л. Точность позиционирования вакуумных манипуляторов с упругодеформируемыми приводными звеньями // Труды МИЭМ. 1984. С. 39 - 46.
  18. Александрова А. Т. Теоретические основы расчета и конструирования функциональных устройств и систем оборудования высоких вакуумных технологий на основе приводов управляемой упругой деформации: Учеб. пособие. М.: МИЭМ, 2003.
  19. Александрова А. Т., Ермаков Е. С., Минин А. В. Пути повышения качества специализированного вакуумного оборудования // Электронная техника. 1975. Сер. 8. Вып. 1(31). С. 17 - 22.
  20. Александрова А. Т., Ермаков Е. С. Устройства и системы формирования перемещений в высоком вакууме с использованием принципа управляемой упругой деформации // Тезисы докл. научно-технич. конф. «Вакуумная наука и техника». Гурзуф: 1994.
  21. Данилов А. И., Маляров С. М. Экспериментальные исследования напряженно-деформированного состояния трубчатых элементов // Межвуз. сб. Труды МИЭМ. 1986. С. 66 - 70.
  22. Андреева А. Ю., Эминов П. А. Трубчатые пневматические пружины замкнутого контура // Межвуз. сб. Труды МИЭМ. 1986. С. 38 - 41.
  23. Андреева А. Ю. Кинематика приводных систем манипуляторов на основе упругодеформируемых элементов с замкнутым контуром // Межвуз. сб. «Электронное машиностроение, робототехника, технология ЭВП». Труды МИЭМ. 1984. С. 8 - 11.
  24. Герц Е. В., Крейнин Расчет пневмопривода. М.: Машиностроение, 1975.
  25. Герц Е.В. Пневматические приводы. М.: Машиностроение, 1969.
  26. Пневматические устройства и системы в машиностроении: Справочник / Герц Е. В., Кудрявцев А. И., Ложкин О. В. и др. / Под общ. ред. Е. В. Герц. М.: Машиностроение. 1981.