Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову micro and nanoelectromechanical systems
Микро - и наноэлектромеханические резонаторы - функциональные компоненты перспективных систем обработки и передачи сигналов
А.Р. Бестугин - д.т.н., доцент, директор, Институт радиотехники, электроники и связи. E-mail: zlata@aanet.ru О.М. Филонов - к.т.н., доцент, кафедра «Микро- и нанотехнологии аэрокосмического приборостроения», ФГАОУ ВПО Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения. E-mail: zlata@aanet.ru И.А. Киршина - к.э.н., доцент, кафедра «Микро- и нанотехнологии аэрокосмического приборостроения», ФГАОУ ВПО Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения. E-mail: zlata@aanet.ru