А.Р. Бестугин - д.т.н., доцент, директор, Институт радиотехники, электроники и связи. E-mail: zlata@aanet.ru О.М. Филонов - к.т.н., доцент, кафедра «Микро- и нанотехнологии аэрокосмического приборостроения», ФГАОУ ВПО Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения. E-mail: zlata@aanet.ru И.А. Киршина - к.э.н., доцент, кафедра «Микро- и нанотехнологии аэрокосмического приборостроения», ФГАОУ ВПО Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения. E-mail: zlata@aanet.ru

Приведены результаты исследований микро- и наноэлектромеханических резонаторов ГГц-диапазона. Проанализированы проблемы, связанные с разработкой теоретических моделей этих устройств, учитывающих влияние размерных факторов. Рассмотрены задачи детерминирования колебаний резонаторов для субнанометрового диапазона амплитуд. Проведена оценка применимости существующих технических средств в качестве вторичных измерительных преобразователей в МЭМ и НЭМ резонаторах.

1. Филонов О.М., Киршина И.А., Окин П.А. Особенности проектировании чувствительных элементов МЭМС с резонансными измерительными преобразователями // Фундаментальные и прикладные исследования в современном мире: IV Междунар. науч.-практ. конф. Дек. 2013. Санкт-Петербург. 2013. С. 37-39.
2. Bestugin А., Filonov О.M., Kirshina I.A., Okin P.A. Operated change of mechanical properties of silicon at its alloying // European science review. May-June. № 5‑6/2014. P. 43-46.
3. Li X., Ono T. Study on Ultra - thin NEMS cantilever ? high yield fabrication and size effect on Young-s modulus of silicon / Micro Electro Mechanical System. The Fifteenth IEEE International Conference. 2002.