Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову ionic-beam processing
Ионно-имплантационная обработка металлических слоев в технологии микроприборов СВЧ
И. В. Перинская - к. т. н., ассистент, кафедра «Биотехнические и медицинские аппараты и системы», Саратовский государственный технический университет