350 руб
Журнал «Антенны» №11 за 2011 г.
Статья в номере:
Ионно-имплантационная обработка металлических слоев в технологии микроприборов СВЧ
Ключевые слова: ионно-лучевая обработка ионная имплантация литография ионно-лучевая пассивация металлов
Авторы:
И. В. Перинская - к. т. н., ассистент, кафедра «Биотехнические и медицинские аппараты и системы», Саратовский государственный технический университет
Аннотация:
Разработана новая технология наноразмерной ионно-лучевой пассивации металлов (Cu, Cr, Al, Ti), используемых в электротехнологии изготовления СВЧ-интегральных схем. Технология позволяет формировать рациональную структуру с наноразмерными поверхностными составляющими, обеспечивает коррозионную защиту в сочетании с неухудшением прочности, износостойкости, СВЧ- и технологических свойств металлов.
Страницы: 44-50
Список источников
  1. Козейкин Б. В. и др. Физико-технологические особенности ионного легирования монокристаллического и эпитаксиального арсенида галлия для монолитных СВЧ-устройств // Электроника. 1983. С. 48.
  2. Перинская И. В. Совершенствование и применение ионно-лучевой технологии субмикронной пассивации металлов для безрезистной литографии и защиты от коррозии // Автореф дисс. ... канд. техн. наук. 2010.
  3. Перинская И. В., Лясников В. Н., Перинский В. В. Влияние параметров наноструктурной обработки ускоренными ионами аргона на химические свойства поверхностных слоев титана, меди, алюминия // Сб. статей Всерос. совещания заведующих кафедрами материаловедения и технологии конструкционных материалов. Зерноград. ФГОУ ВПО АЧГАА. 2008. С. 56-65.
  4. Перинская И. В., Перинский В. В. Ионно-лучевая пассивация меди // Технология металлов. 2008. № 11. С. 31-34.
  5. Перинская И. В. Лясников В. Н., Перинский В. В. Наноразмерная пассивирующая кластеризация поверхности металлов ионно-лучевой обработкой // Сб. докл. 7-й Междунар. российско-японско-казахстанской науч. конф. Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. 2009. С. 383-392.