Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову ion-beam lithography
Ионно-лучевая литография в технологии полупроводниковой СВЧ-микроэлектроники
В.В. Перинский - д.т.н., профессор, кафедра «Физическое материаловедение и технологии новых материалов», Саратовский государственный технический университет В.Н. Лясников - д.т.н., профессор, зав. кафедрой «Физическое материаловедение и технологии новых материалов», Саратовский государственный технический университет