Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову an executive element
Формирование исполнительных элементов устройств микросистемной техники травлением в индуктивно-связанной плазме
А. Е. Ануров инженер-исследователь ФГУП «РНИИ КП». E-mail: anurov_aleksey@mail.ru Е. А. Гринькин аспирант МАТИ. А. А. Жуков д. т. н., доцент, профессор МАИ, нач. отд. ФГУП «РНИИ КП». E-mail: contact@rniikp.ru