350 руб
Журнал «Информационно-измерительные и управляющие системы» №8 за 2009 г.
Статья в номере:
Формирование исполнительных элементов устройств микросистемной техники травлением в индуктивно-связанной плазме
Ключевые слова: исполнительный элемент микроэлектроника микросистемная техника микроэлектромеханические системы поверхностная микрообработка
Авторы:
А. Е. Ануров инженер-исследователь ФГУП «РНИИ КП». E-mail: anurov_aleksey@mail.ru Е. А. Гринькин аспирант МАТИ. А. А. Жуков д. т. н., доцент, профессор МАИ, нач. отд. ФГУП «РНИИ КП». E-mail: contact@rniikp.ru
Аннотация:
Рассмотрены особенности формирования исполнительных элементов устройств микросистемной техники методами поверхностной микрообработки травлением полиимидных «жертвенных» слоев в индуктивно-связанной плазме с управляемым профилем
Страницы: 94-97
Список источников
  1. Варадан В., Виной К., Джозе К. ВЧ МЭМС и их применение. М.: Техносфера. 2004.
  2. Берлин Е. Б., Двинин С. А., Сейдман Л. А. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок. М.: Техносфера. 2007.
  3. Гринькин Е. А., Жуков А. А., Жукова С. А., Чурило И. В. Микроразмерные структуры для микрофлюидных устройств космического приборостроения и информационных систем // Тр. Всероссийской научно-технической конференции «Актуальные проблемы ракетно-космического приборостроения и информационных технологий». С. 251-256.