В.И. Анисимкин - д.ф.-м.н., гл. науч. сотрудник, Институт радиотехники и электроники им.В.А. Котельникова РАН. E-mail: anis@cplire.ru Н.В. Воронова - начальник лаборатории фотошаблонов, ОАО «НИИ Элпа». E-mail: vonavl@mail.ru М.А. Земляницин - вед. инженер, Институт радиотехники и электроники им.В.А. Котельникова РАН Ю.В. Пучков - инженер, ОАО «НИИ Элпа» И.И. Пятайкин - к.ф.-м-н., ст. науч. сотрудник, Институт радиотехники и электроники им.В.А. Котельникова РАН