В.И. Анисимкин - д.ф.-м.н., гл. науч. сотрудник, Институт радиотехники и электроники им.В.А. Котельникова РАН. E-mail: anis@cplire.ru Н.В. Воронова - начальник лаборатории фотошаблонов, ОАО «НИИ Элпа». E-mail: vonavl@mail.ru М.А. Земляницин - вед. инженер, Институт радиотехники и электроники им.В.А. Котельникова РАН Ю.В. Пучков - инженер, ОАО «НИИ Элпа» И.И. Пятайкин - к.ф.-м-н., ст. науч. сотрудник, Институт радиотехники и электроники им.В.А. Котельникова РАН

Экспериментально исследованы изменения скорости поверхностных и пластинчатых акустических волн в нагретых (-100 С) пьезокристаллических звукопроводах кварца, ниобата лития и силиката висмута при одновременном и раздельном воздействии физических параметров газов и скорости ламинарных газовых потоков. Разработаны способы подавления этих изменений для нежелательных газов. Каждый способ подавления продемонстрирован на конкретном примере.

 

1. Виглеб Г. Датчики. М.: Мир. 1989. 198 с.
2. Фрайден Дж. Современные датчики: Справочник. М.: Техносфера. 2006. 592 с.
3. Анисимкин В.И., Земляницин М.А., Пятайкин И.И. Экспериментальные установки для исследования акустоэлектронных датчиков в импульсном и непрерывном режимах // Нелинейный мир. 2015. Т. 13. № 4. С. 17.
4. Анисимкин В.И., Пятайкин И.И., Воронова Н.В., Пучков Ю.В. Температурные характеристики акустических мод в пластинах пьезоэлектрических кристаллов SiO₂, LiNbO₃, LiTaO₃, Bi₁₂GeO₂₀ и Bi₁₂SiO₂₀ // Радиотехника и электроника. 2016. Т. 61. № 1. С. 83.
5. Крышталь Р.Г., Кундин, А.П. Медведь А.В. Устройство на поверхностных акустических волнах для чувствительных элементов датчиков температуры // Радиотехника и электроника. 2016. Т. 62 (в печати).
6. Anisimkin V.I., Voronova N.V., Pushkov Yu.V. General Properties of the acoustic plate modes at different temperatures // Ultrasonics. 2015. V. 62. № 9. P.46.
7. Anisimkin V.I., Penza V., Maksimov S.A., Vasanelli L. SAW Delay Lines for Thermal Conductivity Detection of Gases and Gas Flows // Proc. IEEEUltrason. Symp. 1995. P. 481.
8. Анисимкин В.И., Максимов С.А., Пенза М., Васанелли Л. Термокондуктометрическое детектирование газов и газовых потоков с помощью линий задержки на поверхностных акустических волнах // ЖТФ. 1997. Т. 67. № 5. С. 119.
9. AnisimkinV.I. Sensing Properties of the Anisimkin Jr. Acoustic Modes in Uncoated ST-Quartz Plates // IEEETrans. 2013.  V. UFFC-60. № 10. P. 2204. С. 83-88.
10. Воронова Н.В., Пучков Ю.В., Анисимкин В.И. Особенности проявления термокондуктометрического эффекта при распространении акустических волн в пьезоэлектрических кристаллах // Нелинейный мир. 2016. Т. 14. № 1. С.48-50.