Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову sulfur hexafluoride
Облучатели высокого уровня СВЧ-мощности
М.М. Ганцевич - к.т.н. ст. науч. сотрудник, вед. научн. сотрудник, ОАО «НИИРП» А.В. Харьков - нач. отдела, ОАО «Российские космические системы»
Плазмохимическое травление кварцевого стекла гексафторидом серы

Г.Р. Сагателян1, К.Н. Бугорков2, А.Б. Соломашенко3, А.С. Кузнецов4

1–4 МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) (Москва, Россия)