Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову silicon nitride
Влияние технологических параметров на свойства наноразмерных пленок нитрида кремния, осажденных в индуктивно-связанной плазме
А.Е. Ануров - аспирант, Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет). Е-mail: anurov_aleksey@mail.ru. А.А. Данилов - инженер-исследователь, ОАО «Российские космические системы» (Москва) А.А. Жуков - д.т.н., профессор, зам. начальника центра по науке, ОАО «Российские космические системы» (Москва). Е-mail: contact@rniikp.ru