Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову plasma-chemical reactor
Изучение характеристик алмазоподобных пленок, полученных в плазмохимическом реакторе на базе пучково-плазменного разряда
И.Л. Клыков - вед. инженер ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН Е-mail: i.k-2005@mail.ru А.А. Хомич - ст. инженер ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН Е.Г. Шустин - д.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, ФИРЭ им.В.А. Котельникова РАН