Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову phase-shifting mask (psm)
Исследование ближнего поля, рассеянного щелью в многослойном диэлектрике
А.М. Лерер - д.ф.-м.н., проф., ЮФУ. E-mail: amlerer@sfedu.ru Г.П. Синявский - д.ф.-м.н., проф., зав. кафедрой ПЭ и КМ, физический факультет, ЮФУ. E-mail: sinyavsky@sfedu.ru Е.С. Толстолуцкая - студентка, ЮФУ С.И. Толстолуцкий - начальник сектора РНИИРС