Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову mos-structure
Контроль качества диэлектрических слоев интегральных микросхем и изделий микросистемной техники
В.В. Андреев - д. т. н., проф., Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: andreev@bmstu-kaluga.ru А.А. Столяров - д. т. н., проф., зав. кафедрой, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана Д.С. Васютин - аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана А.М. Михальков - аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана
Контроль качества диэлектрических слоев интегральных микросхем и изделий микросистемной техники
В.В. Андреев - д. т. н., проф., Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: andreev@bmstu-kaluga.ru А.А. Столяров - д. т. н., проф., зав. кафедрой, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана Д.С. Васютин - аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана А.М. Михальков - аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана
Инжекционные методы контроля подзатворного диэлектрика МДПИМС
В.В. Андреев - д.т.н., профессор, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана Е-mail: andreev@bmstu-kaluga.ru А.А. Столяров - д.т.н., профессор, зав. кафедрой, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана В.Г. Дмитриев - аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана А.В. Романов - аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана