Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову mathematical model of workload distribution in a group of wafers
Математическая модель двустороннего полирования группы одновременно обрабатываемых кремниевых пластин

И.И. Данилов1, Н.Г. Назаров2, Д.Д. Дмитриев3, С.Н. Синавчиан4, В.С. Синавчиан5

1–5 Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)