Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову isotropic etching
Д.Л. Шиманович - ст. науч. сотрудник, Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (г. Минск, Беларусь). Е-mail: ShDL@tut.by