К.А. Воротилов - д.т.н., директор, НОЦ «Технологический центр», Московский технологический университет. Е-mail: vorotilov@mirea.ru А.В. Корнюхин - аспирант, кафедра наноэлектроники, Московский технологический университет. Е-mail: d_seregin@mirea.ru С.А. Курдюков - аспирант, кафедра наноэлектроники, Московский технологический университет. Е-mail: d_seregin@mirea.ru Д.С. Серегин - к.т.н., начальник отдела, НОЦ «Технологический центр», Московский технологический университет. Е-mail: d_seregin@mirea.ru М.В. Старилов - аспирант, кафедра наноэлектроники, Московский технологический университет. Е-mail: d_seregin@mirea.ru