Л.В. Лысенко1, Д.М. Ахмелкин2, А.К. Горбунов3, В.К. Шаталов4, Н.А. Тихонов5, А.Е. Платонов6, К.С. Джанаев7

1,2 АО «Опытно-конструкторское бюро микроэлектроники» (г. Калуга, Россия)

3–7 Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) (г. Калуга, Россия)

4 vkshatalov@yandex.ru