Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову an impurity concentration
Эмиссионный спектральный анализ в технологических процессах радиоэлектроники
Е.В. Сухов - начальник участка, ФГУП «НИИ «Полюс» им. М.Ф. Стельмаха Л.Д. Маш - вед. науч. сотрудник, ФГУП «НИИ «Полюс» им. М.Ф. Стельмаха Э.П. Пролейко - вед. науч. сотрудник, ФГУП «НИИ «Полюс» им. М.Ф. Стельмаха. E-mail: valentinproleiko@mail.ru В.Э. Бруггер - инженер, Московский государственный институт электроники и математики. E-mail: artressinner@gmail.com Е.С. Белов - аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: fn2kf@list.ru