350 руб
Журнал «Наукоемкие технологии» №10 за 2012 г.
Статья в номере:
Эмиссионный спектральный анализ в технологических процессах радиоэлектроники
Ключевые слова: эмиссионный спектральный анализ лазерный датчик геттер концентрация примесей
Авторы:
Е.В. Сухов - начальник участка, ФГУП «НИИ «Полюс» им. М.Ф. Стельмаха Л.Д. Маш - вед. науч. сотрудник, ФГУП «НИИ «Полюс» им. М.Ф. Стельмаха Э.П. Пролейко - вед. науч. сотрудник, ФГУП «НИИ «Полюс» им. М.Ф. Стельмаха. E-mail: valentinproleiko@mail.ru В.Э. Бруггер - инженер, Московский государственный институт электроники и математики. E-mail: artressinner@gmail.com Е.С. Белов - аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: fn2kf@list.ru
Аннотация:
Представлен новый метод спектрального анализа, базирующийся на автоматизированном оборудовании мирового уровня, созданный для разработки современных технологических процессов изготовления вакуумных и газоразрядных приборов для систем радиоэлектроники создан.
Страницы: 53-57
Список источников
  1. Hochuli Urs., Haldemann Paul R. Method of fabricating a gas laser. Patent USA. № 386310. HOIj. 9/00/ 1975.
  2. Korzhavyi A.P., Kristya V.I. On the calculation of cold cathodes lifetimes for helium-neon lasers // J. Appl. Phys. 1991. V. 70. № 9. P. 5517-5518.
  3. Прасицкий В.В. Современные катоды для отпаянных приборов // Электронная промышленность. 1996. № 3. С. 91-92.
  4. Коржавый А.П.Материалы с высокой устойчивостью к распылению на основе легких металлов для холодных катодов // Наукоемкие технологии. 2001. Т. 2. № 4. С. 29-32.
  5. Привалов В.Е., Фридрихов С.А. Кольцевой газовый лазер // Успехи фундаментальных наук. 1969. Т. 97. Вып. 3. С. 377.
  6. Fein E., Salisbury W. Integrated construction of low-cost gas lasers // Applied Optics. 1977. V. 16. № 8. P. 2308-2314.
  7. Савельев А.М., Соловьева Т.И. Состояние лазерной гироскопии за рубежом // Зарубежная радиоэлектроника. 1981. № 8. С. 77-92.
  8. Дерюгина Е.О., Пролейко Э.П. Метод создания катодов для датчиков лазерных гиросокпов // Наукоемкие технологии. 2002. № 5. С. 6-18.
  9. Никифоров Д.К., Коржавый А.П., Никифоров К.Г. Эмиттирующие наноструктуры «Металл - оксид металла»: физика и применение: Монография / под ред. А.П. Коржавого. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана. 2009.
  10. Мандельштам С.Л.Введение в спектральный анализ / под ред. Г.С. Ландсберга. М.-Л.: Гостехиздат. 1946.
  11. Бломберген Н.Нелинейная оптика. М.: Мир. 1966.
  12. Стриганов А.Р., Свентицкий Н.С. Таблицы спектральных линий нейтральных и ионизированных атомов. М.: Наука. 1966.
  13. Козинцев В.И., Белов М.Л., Федоров Ю.В. и др. Лазерный оптико-акустический анализ многокомпонентных газовых смесей. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана. 2003.